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膜片干式真空泵：多领域应用案例分析
一、产物概述
ULVAC DA-121D 是一款由日本爱发科（ULVAC）生产的膜片干式真空泵。该泵通过橡胶膜片的往复运动实现真空排气，结构简单，操作方便 。作为标准型干式真空泵，DA-121D 在气体接触部位不使用油，因此维护简单且适用于需要清洁环境的应用。
二、工作原理
膜片干式真空泵利用橡胶膜片的往复运动来压缩和排出气体，从而形成真空环境。这种设计使得泵在运行过程中无需使用油或其他液体，避免了油蒸气污染，特别适合对清洁度要求较高的应用。DA-121D 采用两级排气系统，能够实现比单级排气更低的极限压力。
叁、技术参数
以下是 ULVAC DA-121D 的主要技术参数
| 项目 | 单位 | 50Hz | 60Hz |
|---|---|---|---|
| 实际抽速 | L/min | 120 | 145 |
| 极限压力 | Pa | 3.3×10? | |
| 表压极限压力 | kPa | -98 | |
| 电机功率 | W | 400 | |
| 重量 | kg | 26 | |
| 进/排气口直径 | mm | O.D.φ16×I.D.φ12 (G 1/2) | |
| 环境温度范围 | ℃ | 0～40 | |
| 尺寸（宽×长×高） | mm | 193.5×411×285 |
四、应用领域
ULVAC DA-121D 适用于多种工业和实验室场景，包括但不限于：
- 真空吸盘：用于材料搬运和固定
- 真空镊子：在医疗和实验室中使用
- 半导体检测设备：用于高精度检测
- 分析仪器：如质谱仪和光谱仪
- 包装机械：用于食品和药品包装
五、产物特点
- 无油设计：泵体内部不使用油，避免了油污染
- 两级排气系统：提供比单级排气更低的极限压力
- 内置热保护器：确保运行安全
- 易于维护：结构简单，维护成本低
- 大气压启动：可以在大气压下直接启动
六、注意事项
- 避免吸入腐蚀性气体：如有机溶剂、水蒸气等
- 防止异物进入：避免灰尘和颗粒进入泵
- 避免长时间在接近大气压下运行：可能导致泵过早损坏
- 重新启动：如果泵在负载运行后停止，需先恢复到大气压状态
七、总结
ULVAC DA-121D 膜片干式真空泵凭借其无油设计、简单结构和高效性能，成为工业和科研领域中理想的真空解决方案。其广泛的应用领域和易于维护的特点使其在市场上具有较高的性价比
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